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FilmTek 4500反射透射膜厚測量儀

簡要描述：Filmtek 4500反射和透射膜厚測量儀利用新的多角度差分極化測量（MADP）技術(shù)與SCI patented的差分功率譜密度（DPDS）技術(shù)相結(jié)合，提供了一種在工業(yè)中具有佳的分辨率、準確度和可重復性的光學薄膜計量工具。通過提供更高的精度和準確度，F(xiàn)ilmTek 4500使后期集成電路生產(chǎn)過程中的薄膜過程控制更加嚴格，從而提高了整個器件的產(chǎn)量。

  • 產(chǎn)品型號：
  • 廠商性質(zhì)：代理商
  • 更新時間：2019-02-03
  • 訪  問  量：450

詳細介紹

品牌其他品牌價格區(qū)間面議

Measurement Features

FilmTek™

4000 / 4500

Index of Refraction折射率
(at 2µm thickness)

±0.00002

Thickness Measurement Range

膜厚范圍

3nm-350µm

Maximum Spectral Range (nm)

大光譜范圍

190-1700nm

Standard Spectral Range (nm)

標準光譜范圍

380-1000nm

Reflection

反射

Yes

Transmission

透射

 Yes(4500)

Spectroscopic Ellipsometry

橢圓光譜技術(shù)

No 

Power Spectra Density

功率譜密度

Yes

Multi-angle Measurements

多角度測量(DPSD)

Yes

TE & TM Components of Index

TE和TM成分指數(shù)

Yes

Multi-layer thickness

多層厚度

Yes

Index of Refraction

折射率

Yes

Extinction (absorption) Coefficient

消光(吸收)系數(shù)

Yes

Energy band gap

能帶隙

Yes

Composition

組成

Yes

Crystallinity

結(jié)晶度

Yes

Inhomogeneous Layers

非均勻?qū)?/span>

Yes

Surface Roughness

表面粗糙度

Yes

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